Вакуумный прибор для напыления ВНП-350 предназначен для:
Вакуумный прибор для напыления ВНП-350 предназначен для:
- напыление плазменно-дуговым способом позволяет наносить однослойные и многослойные покрытия из чистых металлов и их соединений на токопроводящие материалы;
- напыление магнетронным способом позволяет наносить покрытия на изделия из металла, керамики, фарфора, стекла, пластмассы.
Область применения
- микроэлектроника, электротехника: процессы металлизации;
- машиностроение: получение износо- и коррозионностойких покрытий на инструменте, деталях машин и т. п.;
- промышленность: нанесение декоративных покрытий на металлоизделия, изделия из фарфора, стекла;
- оптика: нанесение оптических покрытий;
- медицина: нанесение защитных покрытий на инструменты и зубные протезы.
ВНП-350.01, ВНП-350.02 обеспечивают управления процессом нанесения покрытий в ручном и автоматическом режимах.
ВНП-350.01, ВНП-350.02 состоят из:
- стойки вакуумной;
- стойки управления;
- стойки питания.
Приборы позволяют наносить покрытия на изделия, максимальные размеры которых d=250mm, h=150mm. Откачка рабочего объема производится паромасляным насосом dy 160 (возможно подключение турбомолекулярного насоса).
Система газоподачи обеспечивает поддержание давления в камере на заданном уровне. Система питания магнетрона позволяет стабилизировать ток на заданном уровне.
| ВНП-350.01 | ВНП-350.02 | |
| Внутренние размеры рабочей камеры, мм | 350х350х350 | 350х350х350 |
| Остаточное давление в рабочей камере, Ра | 1,3х10-3 | 1,3х10-3 |
| Время получения рабочего вакуума (5,6 10-3 Ра), мин, не более | 20 | 20 |
| Количество магнетронов, шт. | 3 | |
| Диаметр мишени, мм | 84 | |
| Количество плазменно-дуговых испарителей, шт. | 2 | |
| Ток дуги, А | 70 ... 150 | |
| Напряжение подложки, В | 1500 | |
| Потребляемая мощность, ВА, не более | 20 | |
| Занимаемая прибором площадь, мм | 1800х2000 | |
| Масса, кг | 800 |
