Вакуумная установка ВУП ЭМ-12 предназначен для нанесения токопроводящих металлических покрытий (золото, платина, серебро) при подготовке образцов для электронно-микроскопического анализа (SEM).
Вакуумная установка ВУП ЭМ-12 предназначен для нанесения токопроводящих металлических покрытий (золото, платина, серебро) при подготовке образцов для электронно-микроскопического анализа (SEM).
| Камера | термостойкое стекло, диаметр 100 мм, высота 130 мм |
| Диаметр образцов | до 40 мм |
| Возможность загрузки | до 6 образцов |
| Вакуумная система | роторный насос 2 л/сек |
| Контроль вакуума | датчик Пирани |
| Вакуумная блокировка | при 20 Pa срабатывает микропневматический вакуумный клапан |
| Рабочие газы | воздух или аргон, для аргона – штуцер напуска с микропневматическим регулятором |
| Мишень | золото, серебро (диаметр 58 мм) |
| Масса брутто (с насосом) | 54 кг |
