Система напуска газов ИНЖЕКТ предназначена для дистанционного управления напуском газов в ионно-вакуумных установках.
Система напуска газов ИНЖЕКТ предназначена для дистанционного управления напуском газов в ионно-вакуумных установках.
При работе с различными ионно-вакуумными установками возникает необходимость дозированного напуска газов в рабочие камеры. Один из наиболее простых и надежных приборов, служащих для этих целей - двухканальная система напуска ИНЖЕКТ.
В устройствах, имеющих обратную связь, она позволяет:
- автоматически поддерживать заданное давление;
- выбирать полярность сигнала обратной связи и сдвигать его фазу на 180o;
- изменять постоянную времени усилителя обратной связи.
Для отпирания клапана в системе применено пьезострикционное устройство, обеспечивающее дистанционное управление натекателем, работу в режимах "да" и "нет" и модуляцию газового потока.
Наличие двух клапанов дает возможность осуществлять как поочередный, так одновременный напуск двух газов.
Дозирующая пара натекателя: нержавеющая сталь - медь безкислородная.
| Диапазон рабочих давлений, Па | 2,66х10^-6 ... 13,3 |
| Расход газов при полностью открытом натекателе, м3хПа/с, не менее | 7х10^-2 |
| Питание: сеть переменного тока | |
| напряжение, В | 220 |
| частота, Гц | 50 |
| Потребляемая мощность, ВА, не более | 40 |
| Габаритные размеры, мм: | |
| блок питания | 250х230х140 |
| натекатель | 350х100х100 |
| Масса, кг | 6 |
