Растровый микроскоп РЭМ-106

Цена: По запросу
Нужна консультация?
  • 7(499) 677-66-22
  • priborpost@yandex.ru

Растровый микроскоп РЭМ-106 предназначен для исследований в материаловедении, нанотехнологиях, физике, химии, геологии, микроэлектронике, биологии, медицине и др. областях с гарантированными метрологическими параметрами измерений линейных размеров субмикронного диапазона и массовой доли элементов в составе исследуемых объектов.

Конструктивные особенности

  • быстрое, с гарантированной точностью, измерение линейных размеров объектов;
  • определение элементного состава объектов методом рентгеновского микроанализа с гарантированной точностью;
  • высокое качество электронно-оптических изображений поверхности проводящих и диэлектрических объектов без специального приготовления в режимах вторичных (ВЭ) и отраженных электронов (ОЭ);
  • набор тестовых образцов для калибровки и поверки метрологических параметров, электронно-оптического увеличения, разрешающей способности в режиме ВЭ и ОЭ, калибровки и поверки системы микроанализа; набор эталонов для количественного микроанализа;
  • конструкция вакуумной системы, обеспечивающая два рабочих режима в камере объектов: высоковакуумный (классический РЭМ) и низковакуумный регулируемый – для исследования диэлектрических объектов;
  • электронно-оптическая система с повышенной защищенностью от внешних электромагнитных полей;
  • высокая виброустойчивость;
  • объективная линза с разделительными диафрагмами для дифференциальной откачки камеры объектов и электронной пушки;
  • управление вакуумной, электронно-оптической, энерго-дисперсионной системами прибора и механизмом перемещения объектов, а также визуализацию и хранение изображений и результатов микроанализа обеспечивается персональным компьютером;
  • документирование изображений и спектров высокоразрешающим принтером;
  • отображение информации о состоянии прибора на дисплее компьютера.
Технические характеристики
Разрешение в режиме высокого вакуума (ВЭ), нм 4
Разрешение в режиме низкого вакуума (ОЭ), нм 6
Максимальный размер изображения, пикс 1280 960
Диапазон регулирования давления в камере, Па 1 - 270
Диапазон ускоряющих напряжений, кВ 0,5 - 30
Диапазон регулирования увеличений, х 15 - 300000
Максимальный размер объекта, мм 50
Диапазон перемещений объекта:  
по координатам X, Y, мм ±25
по координате Z, мм 50
наклон,° -20 до 60
поворот, ° 360
Время смены образца, мин 5
Диапазон измерений линейных размеров, µm 0,2 - 5000
Пределы допускаемой основной погрешности измерений линейных размеров, не более:  
в диапазоне от 0,2 µm до 0,8 µm, нм ±40
в диапазоне свыше 0,8 µm до 5000 µm, % ±4
Диапазон анализируемых элементов:  
в режиме высокого вакуума 5B - 92U
в режиме низкого вакуума 12Mg - 92U
Разрешение ЭДС, eV 139
Пределы допускаемой относительной погрешности измерений массовой доли элемента в диапазоне от 6С до 92U  
в составе массивных образцов, не более:  
для элементов с диапазоном массовой доли свыше 10 %, % ±4
для элементов с диапазоном массовой доли свыше 1 % до 10 %, % ±20
для элементов с диапазоном массовой доли от 0,1 % до 1 %, % ±50
Напряжение питания (1 фаза), В 220
частота, ГЦ 50/60
Потребляемая мощность, кВА 2,5
Габаритные размеры (колонна со стендом), мм 1050х2100х1850
Масса, кг 685