Приставка магнетронного распыления МП-80:
- магнетрон, диаметр мишени 80мм, устанавливается на фланце, в верхней части рабочего колпака;
- блок питания МП-80 (1 А, 900 В), устанавливается сверху пульта вакуумного универсального поста.
Требуется изготовление нового рабочего колпака с размещенным сверху фланцем Ду 170 для установки магнетрона.
Приставка магнетронного распыления МП-80:
- магнетрон, диаметр мишени 80мм, устанавливается на фланце, в верхней части рабочего колпака;
- блок питания МП-80 (1 А, 900 В), устанавливается сверху пульта вакуумного универсального поста.
Требуется изготовление нового рабочего колпака с размещенным сверху фланцем Ду 170 для установки магнетрона.
Напыление | сверху вниз |
Габаритные размеры магнетрона, мм | 180х80 |
Габаритные размеры блока питания, мм | 465х540х220 |