Лазер ЛГИ-21 предназначен для использования в лазерных установках типа «кварц» для подстройки монолитных фильтров, кварцевых резонаторов, а также при исследованиях, оптимизации топологии и изготовлении мелких партий интегральных схем с пленочными резонаторами.
Лазер ЛГИ-21 предназначен для использования в лазерных установках типа «кварц» для подстройки монолитных фильтров, кварцевых резонаторов, а также при исследованиях, оптимизации топологии и изготовлении мелких партий интегральных схем с пленочными резонаторами.
| Параметры | Значение |
| Длина волны излучения | 337 нм |
| Частота повторения импульсов | до 100 Гц |
| Средняя мощность излучения | не менее 3 мВт |
| Энергия излучения | не менее 0,03 мДж |
| Диаметр пучка излучения | 3 мм |
| Расходимость излучения | 3 мрад |
| Режим охлаждения | воздушный |
| Габаритные размеры | 120х120х700 мм |
| Наработка на отказ | 1000 ч |
