Кварцевый измеритель толщины пленки КИТ предназначен для контроля за толщиной напыляемых в вакууме многослойных пленочных структур. Прибор может применяться как для автономной работы, так и для работы в составе с АСУ.
Конструктивные особенности
В автономном режиме используется алгоритм, записанный пользователем. Результаты измерений выводятся на индикатор, при этом прибор принимает сигналы от встроенной клавиатуры, а также внешний сигнал запуска и вырабатывает сигнал останова. В составе АСУ прибор высылает данные ведущему процессору по последовательному интерфейсу.
Кварцевый измеритель толщины пленки КИТ предназначен для контроля за толщиной напыляемых в вакууме многослойных пленочных структур. Прибор может применяться как для автономной работы, так и для работы в составе с АСУ.
Конструктивные особенности
В автономном режиме используется алгоритм, записанный пользователем. Результаты измерений выводятся на индикатор, при этом прибор принимает сигналы от встроенной клавиатуры, а также внешний сигнал запуска и вырабатывает сигнал останова. В составе АСУ прибор высылает данные ведущему процессору по последовательному интерфейсу.
В зависимости от условий применения прибор может комплектоваться магнитной защитой датчика (для работы с магнетронными системами распыления), а также системой охлаждения датчика. Наличие охлаждаемого датчика позволяет применять прибор при напылении тонкопленочных покрытий с нагревом.
| Разрешающая способность по частоте, Гц | 1 |
| Диапазон измеряемых частот, МГц | 4-10 |
| Период измерения, с | 1 |
| Разрешающая способность по толщине на Та2О5, нм | 0,1 |
| Количество материалов | 10 |
| Диапазон плотности материала, г/см3 | 0,1-9,99 |
| Количество слоев | 10 |
| Диапазон толщины материала, нм | 0,1-999,9 |
| Количество пленок | 3 |
| Интерфейс связи с внешними устройствами | RS 232 |
| Сигнал внешнего запуска, В | 3,5-12 |
| Изоляция по сигнальным шинам, В | 2500 |
| Потребляемая мощность, Вт | 6 (220 В, 25 мА) |
| Диапазон рабочих температур, °C | 0…50 |
| Относительная влажность при температура 20 °C, не более, % | 85 |
| Габаритные размеры, мм | 110х135х230 |
| Интерфейс | RS 232 |
С прибором поставляется диск с тестовой программой Micron.exe. Программа написана для работы в ОС WINDOWS 95/98/2000.
