Гранулы предназначены:
Гранулы предназначены:
- Al для изготовления элементов микросхем (напр. обкладок пленочных конденсаторов) методом вакуумтермического напыления,
- Cu для изготовления элементов пленочных микросхем (напр. токоведущих дорожек) методом вакуумтермического напыления.
| Параметры | Значение |
| Содержание кислорода | не более 0,0015% по массе |
| Диаметр гранул | 2-3 мм 1 - 4-5 мм |
Масса:
|
0,3-0,6 г 0,2-0,5г |
