Электронно-лучевой испаритель ЭЛИ предназначен для испарения материалов и полупроводников в вакууме.
Конструктивные особенности
В состав испарителя ЭЛИ входят:
- электронно-лучевой испаритель,
- поворотная заслонка с экраном,
- высоковольтный блок с кабелями.
ЭЛИ устанавливается в основании вакуумной камеры, через отверстие с диаметром не менее 33 мм.
Электронно-лучевой испаритель ЭЛИ предназначен для испарения материалов и полупроводников в вакууме.
Конструктивные особенности
В состав испарителя ЭЛИ входят:
- электронно-лучевой испаритель,
- поворотная заслонка с экраном,
- высоковольтный блок с кабелями.
ЭЛИ устанавливается в основании вакуумной камеры, через отверстие с диаметром не менее 33 мм.
Испаритель имеет: водяное охлаждение тигля, легкозаменяемый катод, высокие скорости испарения до 1 мкм / мин. (в зависимости от мощности и расстояния между источником и подложкой).
| Напряжение, не более, кВ | 4 |
| Максимальный ток пучка, мА | 200 |
| Максимальный ток накала катода, А | 20 |
